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申请/专利权人：中芯北方集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
摘要：本申请提供一种监控装置，用于监控排气管路的漏液状况，所述排气管路的第一端与输液管路连接，包括排气阀、侦测器、第一阀体、报警装置和控制系统，其中，所述排气阀连接在所述排气管路的第二端；所述侦测器用于侦测所述排气阀是否漏液并发送漏液信号至所述报警装置；所述第一阀体设置在所述排气管路上且靠近所述排气管路的第一端，用于控制所述排气管路的导通或者关闭；所述报警装置被配置为在接收到所述漏液信号后发出警报，并传递所述漏液信号至所述控制系统；所述控制系统被配置为在接收到所述漏液信号后关闭所述第一阀体。所述监测装置可以在排气阀发生漏液时即时发出警报，同时还可通过关闭所述第一阀体，避免所述排气阀继续漏液。
主权项：1.一种监控装置，用于监控排气管路的漏液状况，所述排气管路的第一端与输液管路连接，其特征在于，包括排气阀、侦测器、第一阀体、报警装置和控制系统，其中所述排气阀连接在所述排气管路的第二端；所述侦测器与所述报警装置电连接，用于侦测所述排气阀是否漏液并发送漏液信号至所述报警装置；所述第一阀体设置在所述排气管路上且靠近所述排气管路的第一端，用于控制所述排气管路的导通或者关闭；所述报警装置与所述控制系统电连接，且所述报警装置被配置为在接收到所述漏液信号后发出警报，并传递所述漏液信号至所述控制系统；以及所述控制系统与所述第一阀体电连接，且所述控制系统被配置为在接收到所述漏液信号后关闭所述第一阀体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中芯北方集成电路制造(北京)有限公司 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 一种监控装置
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