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申请/专利权人：凌嘉科技股份有限公司
摘要：一种快速抽高真空的真空设备，包含送料腔及预抽腔。所述送料腔包括送料腔体。所述送料腔体围绕界定出下腔室。所述送料腔体具有至少一个空间连通所述下腔室的阀口。所述预抽腔包括设置在所述送料腔体的顶侧的预抽腔体，及至少一个气密阀单元。所述预抽腔体围绕界定出空间连通于所述阀口的上腔室。所述上腔室的容积大于所述下腔室的容积。当所述气密阀单元封闭所述阀口时，所述上腔室与所述下腔室不连通。当所述气密阀单元打开所述阀口时，所述上腔室与所述下腔室相连通。本实用新型能缩短所述送料腔建立高真空度的时间，提高产能。
主权项：1.一种快速抽高真空的真空设备，适用传送工件，其特征在于：所述快速抽高真空的真空设备包含：送料腔，包括送料腔体及腔门，所述送料腔体围绕界定出用来容置所述工件的下腔室，所述送料腔体具有至少一个位于顶侧且空间连通所述下腔室的阀口，及与大气环境空间相连通且适用于供所述工件通过的送料口，所述腔门用来封闭所述送料口；及预抽腔，连接在所述送料腔，所述预抽腔包括沿顶底方向设置在所述送料腔体的顶侧的预抽腔体，及至少一个气密阀单元，所述预抽腔体围绕界定出空间连通于所述阀口的上腔室，所述上腔室的容积大于所述下腔室的容积，所述气密阀单元的数量配合所述阀口且用来封闭所述阀口，当所述气密阀单元封闭所述阀口时，所述上腔室与所述下腔室不连通，当所述气密阀单元打开所述阀口时，所述上腔室与所述下腔室通过所述阀口相连通。
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权利要求：
百度查询： 凌嘉科技股份有限公司 快速抽高真空的真空设备
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