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申请/专利权人：无锡市品鑫智能机电科技有限公司
摘要：本发明涉及晶圆运输技术领域，尤其涉及一种具备缓释运力压力功能的晶圆运输系统，包括：工作机床；同步轮，设有两组，通过支架安装在工作机床的顶端，且同步轮的外侧套设有传动带；晶圆放置件，均匀布置在传动带的外表面处，晶圆放置件上设有可拆卸更换的晶圆放置板；同步盛接组件，设在工作机床的顶端一侧，同步盛接组件上设有可进行复位调节的L形盛接板、推杆电机以及滑动环。本发明在对晶圆进行传输过程中能够有效实现晶圆的归位需求，并能够实现晶圆的规格检查以及多余晶圆的夹持暂存，实现运力的缓释，还能够保证晶圆稳定传输，降低碰撞，实现设备的同步运转，且设备维护成本低，维养方便，进而保证后续长久的有效传递运输作业。
主权项：1.一种具备缓释运力压力功能的晶圆运输系统，其特征在于，包括：工作机床1；同步轮5，设有两组，通过支架安装在工作机床1的顶端，且同步轮5的外侧套设有传动带3；晶圆放置件9，均匀布置在传动带3的外表面处，晶圆放置件9上设有可拆卸更换的晶圆放置板92；同步盛接组件2，设在工作机床1的顶端一侧，同步盛接组件2上设有可进行复位调节的L形盛接板28、推杆电机29以及滑动环23；同步调节机构7，安装在靠近同步盛接组件2的一组同步轮5的轴心处；运力缓释机构4，安装于工作机床1的顶端，并置于传动带3的侧面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡市品鑫智能机电科技有限公司 一种具备缓释运力压力功能的晶圆运输系统
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