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用于分析由两个或更多个检测器生成的实验数据的深度学习技术 

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申请/专利权人:FEI公司

摘要:用于分析由两个或更多个检测器生成的实验数据的深度学习技术。本文公开了科学仪器支持系统,以及相关的方法、装置、计算设备和计算机可读介质。一些实施方案提供了科学仪器,该科学仪器包括支持两个或更多个光谱模态和成像模态的检测器,并且还包括被配置为处理从检测器接收的测量流的电子控制器。该电子控制器操作以基于对应于成像模态的测量生成样本的基础图像,以及进一步操作以基于基础图像并且进一步基于与基础图像的不同像素相对应的测量的光谱到变分自动编码器的潜空间中的各种簇的映射来生成样本的簇映射图像。在至少一些情况下,即使当测量的光谱具有相对低的信噪比值时,簇映射图像也可以有益地用于在数秒内识别样本内的化学相似区域。

主权项:1.一种设备,所述设备包括:电子束柱,所述电子束柱被配置为跨样本扫描电子束;多个检测器,所述多个检测器被配置为测量由所述电子束与所述样本的相互作用引起的信号,所述多个检测器包括用于第一模态的第一检测器、用于第二模态的第二检测器,以及用于成像模态的第三检测器;和电子控制器,所述电子控制器被连接以从所述多个检测器接收测量流,并且被配置为:对于使用所述成像模态生成的所述样本的基础图像的每个像素,利用自动编码器将相应第一输入向量和相应第二输入向量映射到潜空间中的相应概率密度,其中所述相应第一输入向量、所述相应第二输入向量以及所述基础图像是基于所述测量流获得的,所述相应第一输入向量对应于所述第一模态,所述相应第二输入向量对应于所述第二模态;利用所述自动编码器识别所述相应概率密度所属的相应潜空间簇;以及基于所述基础图像并进一步基于针对所述基础图像的不同像素识别的潜空间簇来生成所述样本的簇映射图像。

全文数据:

权利要求:

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