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申请/专利权人：三星显示有限公司
摘要：提供了光学检查装置和光学检查方法。光学检查装置包括：光学检查主体，该光学检查主体上安装有目标衬底；高分辨率相机，该高分辨率相机与目标衬底间隔开并且被布置在光学检查主体中，其中，高分辨率相机拍摄高分辨率图像；以及图像转换器，该图像转换器将高分辨率图像转换为低分辨率图像，其中，图像转换器包括灰度均匀器，该灰度均匀器调整高分辨率图像的灰度以允许高分辨率图像之间的灰度偏差等于或小于偏差参考值。
主权项：1.一种光学检查装置，包括：光学检查主体，所述光学检查主体上安装有目标衬底；多个高分辨率相机，所述多个高分辨率相机与所述目标衬底间隔开并且被布置在所述光学检查主体中，其中，所述多个高分辨率相机拍摄多个高分辨率图像；以及图像转换器，所述图像转换器将所述多个高分辨率图像转换为低分辨率图像，其中，所述图像转换器包括灰度均匀器，所述灰度均匀器调整所述多个高分辨率图像的灰度以允许所述多个高分辨率图像之间的灰度偏差等于或小于偏差参考值。
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百度查询： 三星显示有限公司 光学检查装置和光学检查方法
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