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申请/专利权人：成都沃特塞恩电子技术有限公司
摘要：本发明提供了一种带有偏压引线的样品台组件及MPCVD系统，属于微波等离子体技术领域。上述带有偏压引线的样品台组件包括台板、底座、基片台及支撑筒；台板与底座连接，基片台设置在台板上，并与台板绝缘连接，支撑筒的端部与底座连接。台板内部设置有引出线通道，底座内部设置有引入线通道，引出线通道内设置有偏压引出线，引入线通道与支撑筒连通，引入线通道及支撑筒内设置有偏压引入线；偏压引出线与台板绝缘设置，偏压引出线与底座及支撑筒绝缘设置。偏压引出线的一端与偏压引入线电连接，另一端与基片台电连接。由于偏压引入线及偏压引出线均为隐藏式设计，其大大降低了偏压线对腔体内电场的影响，从而为MPCVD系统的高效镀膜提供了保障。
主权项：1.一种带有偏压引线的样品台组件，其特征在于，包括台板、底座、基片台及支撑筒；所述台板与所述底座连接，所述基片台设置在所述台板上，并与所述台板绝缘连接，所述支撑筒的端部与所述底座连接；所述台板内部设置有引出线通道，所述底座内部设置有引入线通道，所述引出线通道内设置有偏压引出线，所述引入线通道与所述支撑筒连通，所述引入线通道及所述支撑筒内设置有偏压引入线；所述偏压引出线与所述台板绝缘设置，所述偏压引出线与所述底座及所述支撑筒绝缘设置；所述偏压引出线的一端与所述偏压引入线电连接，另一端与所述基片台电连接；所述底座通过配合面与所述台板配合，所述底座的配合面上设置有安装盲孔，所述安装盲孔的底部设置有插接孔，所述插接孔与所述引入线通道连通；所述安装盲孔内设置有电极接头，所述电极接头包括连接板、连接头及插接柱，所述连接头与所述插接柱分别连接于所述连接板的两个板面；所述连接板设置在所述安装盲孔中，并与所述安装盲孔的底面密封连接，所述连接头与所述偏压引出线连接，所述插接柱插接在所述插接孔中，并与偏压引入线电连接。
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