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申请/专利权人：佳能株式会社
摘要：寻求即使持续长期使用也难以发生膜剥离的元件、设备。为元件，是具备基体和在上述基体上设置的结构体的元件，其特征在于，上述结构体包含铝化合物膜，将相对于上述铝化合物膜中的全部元素的、铝的原子数浓度设为[Al]at％，氧的原子数浓度设为[O]at％，氟的原子数浓度设为[F]at％，氢的原子数浓度设为[H]at％时，满足[Al][O]＞23、且[F][O]+[F]+[H]≥0.01、且[H][O]+[F]+[H]≥0.01、且[F]+[H][O]+[F]+[H]≥0.5。
主权项：1.元件，是具备基体及在所述基体上设置的结构体的元件，其特征在于，所述结构体包含铝化合物膜，将相对于所述铝化合物膜中的全部元素的、铝的原子数浓度设为[Al]at％，氧的原子数浓度设为[O]at％，氟的原子数浓度设为[F]at％，氢的原子数浓度设为[H]at％时，满足[Al][O]＞23、且[F][O]+[F]+[H]≥0.01、且[H][O]+[F]+[H]≥0.01、且[F]+[H][O]+[F]+[H]≥0.5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能株式会社 元件、设备、光学设备
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