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申请/专利权人：精工爱普生株式会社
摘要：本发明提供一种能够提高振动板的位移量的压电元件应用器件。本发明的压电元件应用器件具备：振动板，其由氧化硅构成；第一电极，其形成在振动板的上方；种子层，其形成在第一电极以及振动板的上方；压电体层，其形成在种子层上，并包含钾、钠和铌；第二电极，其形成在压电体层上，振动板还包含钾和钠，在振动板以及压电体层的二次离子质谱分析中，振动板中的钾的强度低于压电体层中的钾的强度，振动板中的钠的强度低于压电体层中的钠的强度。
主权项：1.一种压电元件应用器件，其特征在于，具备：振动板，其由氧化硅构成；第一电极，其形成在所述振动板的上方；种子层，其形成在所述第一电极以及所述振动板的上方；压电体层，其形成在所述种子层上，并包含钾、钠和铌；第二电极，其形成在所述压电体层上，所述振动板还包含钾和钠，在所述振动板以及所述压电体层的二次离子质谱分析中，所述振动板中的钾的强度低于所述压电体层中的钾的强度，所述振动板中的钠的强度低于所述压电体层中的钠的强度。
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