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半导体器件、半导体器件的制造方法以及半导体器件的识别方法 

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申请/专利权人:三菱电机株式会社

摘要:本公开所涉及的半导体器件100具备:半导体基板20;半导体层21、22、23、24、25、27,形成在该半导体基板20之上;识别图案区域15、16,设置在该半导体基板20之上的预先设定的部位;以及针状构造物40或者该针状构造物40被由SiO2构成的绝缘膜31覆盖而成的穹顶状构造物41,在该识别图案区域15、16的区域内形成在随机的位置。

主权项:1.一种半导体器件,其特征在于,具备:半导体基板;半导体层,形成在所述半导体基板之上;识别图案区域,设置在所述半导体基板之上的预先设定的部位;以及多个构造物,在所述识别图案区域内形成于随机的位置。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 三菱电机株式会社 半导体器件、半导体器件的制造方法以及半导体器件的识别方法

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