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申请/专利权人：中国科学院半导体研究所
摘要：本公开提供了一种散斑抑制装置，包括宽条半导体激光器组、准直模块、阶梯状相位延迟器、透镜模块和照明面，宽条半导体激光器组用于发射在慢轴方向上空间非相干的激光；准直模块用于对激光进行准直；阶梯状相位延迟器使得延迟相位后的激光产生相位差，在快轴方向上空间非相干，输出多个二维非相干子光束，二维非相干子光束在快轴方向上和慢轴方向上空间非相干；透镜模块用于对二维非相干子光束进行聚焦；照明面使得每个二维非相干子光束经过粗糙物体的表面散射后产生多个的非相干散斑并叠加，得到散斑叠加的照明光斑。本公开能够提高散斑抑制的效率，并能解决照明面照度不均匀的问题。
主权项：1.一种散斑抑制装置，其特征在于，包括：宽条半导体激光器组，用于发射在慢轴方向上空间非相干的激光；准直模块，设置在所述宽条半导体激光器组的发射端，用于对所述激光进行准直；阶梯状相位延迟器，包括多个相位延迟阶梯，每个所述相位延迟阶梯对所述激光延迟不同的相位，使得延迟相位后的所述激光产生相位差，在快轴方向上空间非相干，输出多个二维非相干子光束，所述二维非相干子光束在快轴方向上和慢轴方向上空间非相干；透镜模块，设置在所述阶梯状相位延迟器的输出端，用于对所述二维非相干子光束进行聚焦；照明面，设于所述透镜模块的输出端，所述照明面上包含粗糙物体，使得每个所述二维非相干子光束经过所述粗糙物体散射后产生多个的非相干散斑并叠加，得到散斑叠加的照明光斑；所述阶梯状相位延迟器、透镜模块和照明面的中心设于系统光轴上，所述系统光轴为所述激光通过所述散斑抑制装置传播的路径。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院半导体研究所 散斑抑制装置
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