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申请/专利权人：安徽纯源镀膜科技有限公司
摘要：本发明涉及一种用于镀膜设备双腔室装卸载的设备，包括第一腔室、第二腔室和用于装载待镀膜工件的装载装置，第一腔室和第二腔室之间设置有连接通道，连接通道处设置有第一调节装置，还设置有用于调节装载装置在第一腔室和第二腔室之间进行移动的第二调节装置，装载装置上具有第一连接部，第二调节装置具有第二连接部，第一连接部、第二连接部中的一者为电磁铁连接件构成、另一者为磁性连接件构成，磁性连接件和电磁铁连接件之间组成磁铁式可分离连接结构。本发明提供的上述方案，采用磁性连接件和电磁铁连接件之间组成磁铁式可分离连接结构，该结构更加稳定，减少装卸载装置故障率，从而提高镀膜生产效率。
主权项：1.一种用于镀膜设备双腔室装卸载的设备，其特征在于：包括第一腔室、第二腔室和用于装载待镀膜工件的装载装置，装载装置活动安装在第一腔室和第二腔室之间，第一腔室和第二腔室之间设置有供装载装置移动的连接通道，连接通道处设置有用于调节连接通道的连通状态的第一调节装置，还设置有用于调节装载装置在第一腔室和第二腔室之间进行移动的第二调节装置，装载装置上具有第一连接部，第二调节装置具有第二连接部，第一连接部、第二连接部中的一者为电磁铁连接件构成、另一者为磁性连接件构成，磁性连接件和电磁铁连接件之间组成磁铁式可分离连接结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽纯源镀膜科技有限公司 一种用于镀膜设备双腔室装卸载的设备和方法
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