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申请/专利权人：合肥世纪金芯半导体有限公司
摘要：本实用新型提供一种PVT法生产碳化硅单晶设备，包括用于生产碳化硅单晶的碳化硅PVT炉主体、排气阀门以及出气管，碳化硅PVT炉主体左侧面上方安装有排气阀门，排气阀门左侧连接有出气管，出气管左侧设置气滤组件，气滤组件包括抽气滤筒、前滤板以及后滤圈，抽气滤筒内部右侧安装有前滤板，前滤板右表面贯通开设有多个滤气孔，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过设置出气管、传输管、气体传输泵以及输出管，能够便于抽取碳化硅PVT炉主体使用产生的热气，并将其传输至其他设备处以便于热气回收再利用，通过设置气滤组件，能够便于过滤抽气过程中热气中混合的杂质，防止杂质混合热气进入设备内影响设备的使用。
主权项：1.一种PVT法生产碳化硅单晶设备，包括用于生产碳化硅单晶的碳化硅PVT炉主体100、排气阀门以及出气管200，所述碳化硅PVT炉主体100左侧面上方安装有排气阀门，所述排气阀门左侧连接有出气管200，其特征在于：所述出气管200左侧设置气滤组件300；所述气滤组件300包括抽气滤筒301、前滤板302以及后滤圈303，所述抽气滤筒301内部右侧安装有前滤板302，所述前滤板302右表面贯通开设有多个滤气孔304；所述前滤板302左侧安装有后滤圈303，所述后滤圈303中间安装有玻纤细滤网305，所述抽气滤筒301左侧设置有传输管400，所述传输管400下方设置有降噪箱500，所述降噪箱500内部安装有气体传输泵900。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥世纪金芯半导体有限公司 一种PVT法生产碳化硅单晶设备
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