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申请/专利权人：苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司
摘要：本实用新型涉及真空设备技术领域，尤其涉及一种门阀组件及真空镀膜装置。该门阀组件包括门阀本体、第一加强件和第二加强件。其中，门阀本体设置在相邻两个真空腔室之间，门阀本体用于连通或隔离相邻两个真空腔室。第一加强件与门阀本体的上端面连接，第二加强件与门阀本体的下端面连接；第一加强件和第二加强件均为金属件。通过将第一加强件和第二加强件分别锁附在门阀本体的上下两端，依靠第一加强件和第二加强件的刚性强度来减小门阀本体受内外压力差导致的形变，从而提高该门阀组件的强度和稳定性，提高门阀组件对相邻两个真空腔室的密封性能，减少发生形变的现象，减少后期的维护工作，节约成本。
主权项：1.门阀组件，其特征在于，包括：门阀本体，所述门阀本体设置在相邻两个真空腔室10之间，所述门阀本体用于连通或隔离相邻两个所述真空腔室10；所述门阀本体上设置有传输通道，其打开时，能够使镀膜基板从一个所述真空腔室10进入另一个所述真空腔室10；第一加强件100和第二加强件200，所述第一加强件100与所述门阀本体的上端面连接，所述第二加强件200与所述门阀本体的下端面连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州迈为科技股份有限公司 苏州迈正科技有限公司 门阀组件及真空镀膜装置
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