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申请/专利权人：中国科学院上海应用物理研究所
摘要：本实用新型提供一种软X射线高真空高吞吐量原位共振散射仪装置，其包括：真空腔体，在工作条件下达到优于1×10‑7mbar的高真空；散射仪核心组件，接收同步辐射光源的软X射线，其θ旋转台承载有样品台，样品台承载能够容纳25个样品的高吞吐量大面积样品托，其2θ旋转台上设有探测器，且其运动机构采用高真空步进电机；与快开门的开口连接且可彼此切换的快开门和原位样品台系统，该原位样品台系统包括原位样品台、伸入真空腔体的原位样品杆、以及将原位样品杆密封于真空腔体内的原位样品密封装置，原位样品杆上设有样品；以及控制系统，控制所有真空步进电机。本实用新型的散射谱仪装置实现了有机材料的软X射线共振弹性散射谱测试。
主权项：1.一种软X射线高真空高吞吐量原位共振散射仪装置，其特征在于，包括：真空腔体，设置为在工作条件下达到优于1×10-7mbar的高真空，其正面的中心处设有快开门的开口；散射仪核心组件，其设置为接收同步辐射光源的软X射线，包括安装于同一个散射仪底座上的θ旋转台和2θ旋转台，所述θ旋转台承载有样品台，样品台承载能够容纳25个样品的高吞吐量大面积的样品托，样品托用于安装样品，所述2θ旋转台上设有至少一种探测器，且θ旋转台的运动机构和2θ旋转台的运动机构均采用能兼容优于1×10-7mbar真空度的高真空步进电机；与快开门的开口连接且可彼此切换的快开门和原位样品台系统，该原位样品台系统包括设于真空腔体外部的原位样品台、安装于原位样品台上并沿着所述散射仪核心组件的转轴伸入所述真空腔体的原位样品杆、以及将所述原位样品杆密封于真空腔体内的原位样品密封装置，原位样品杆上设有原位实验样品；以及控制系统，其设置为控制所有真空步进电机。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院上海应用物理研究所 软X射线高真空高吞吐量原位共振散射仪装置
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