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除尘装置和激光剥离设备 

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申请/专利权人:海目星激光科技集团股份有限公司

摘要:本发明公开了一种除尘装置和激光剥离设备,涉及激光剥离设备技术领域,其中,除尘装置应用于激光剥离设备,激光剥离设备包括激光发生器、及用于供剥离工件放置的工作台,除尘装置包括除尘罩,除尘罩包括至少两个气压腔,至少两个气压腔分别设在激光发生器的激光光路在第一方向上的相对两侧,当剥离工件相对激光产生沿第一方向的移动时,在位于激光在第一方向上的相对两侧的两个气压腔中,处于第一方向的上游的气压腔的压强为负压,并吸附剥离工件所在区域的粉尘;处于第一方向的下游的气压腔的压强为正压,并朝向剥离工件吹气。本发明提供的技术方案在提高除尘装置的除尘效率的同时保证剥离良率。

主权项:1.一种除尘装置,其特征在于,所述除尘装置应用于激光剥离设备,所述激光剥离设备包括激光发生器、及用于供剥离工件放置的工作台,所述除尘装置包括:除尘罩,包括至少两个气压腔,至少两个所述气压腔分别设在所述激光发生器的激光光路在第一方向上的相对两侧,当所述剥离工件相对所述激光产生沿所述第一方向的移动时,在位于所述激光在所述第一方向上的相对两侧的两个所述气压腔中,处于所述第一方向的上游的气压腔的压强为负压,并吸附所述剥离工件所在区域的粉尘;处于所述第一方向的下游的气压腔的压强为正压,并朝向所述剥离工件吹气。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 海目星激光科技集团股份有限公司 除尘装置和激光剥离设备

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