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一种稳定传输系统 

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申请/专利权人:苏州南北深科智能科技有限公司

摘要:本发明公开了一种稳定传输系统,包括传输装置,传输装置沿水平方向输送硅片,传输装置沿传输方向的两侧有入料端口和出料端口,传输装置包括多个同步移动的传输支架,每个传输支架均包括至少一个一端开口的限位空间。接驳装置设置在入料端口和出料端口处,接驳装置包括与限位空间对应的送料机构,每个送料机构的传输方向与传输装置的传输方向平行。当限位空间的开口水平朝向送料机构时,送料机构沿水平方向传输硅片,传输装置在送料机构送料过程中处于传输状态,送料机构能在对应的限位空间移动过程中将硅片插入对应的限位空间内,或将对应的限位空间内的硅片取出。传输系统能在传输装置和接驳系统之间稳定的传输硅片,实现硅片的上下料。

主权项:1.一种稳定传输系统,其特征在于:包括:传输装置,所述传输装置沿水平方向输送硅片,所述传输装置沿传输方向的两侧设置有入料端口和出料端口,所述传输装置包括多个同步移动的传输支架,每个所述传输支架均包括至少一个一端开口的限位空间;接驳装置,所述接驳装置设置在入料端口和出料端口处,所述接驳装置包括与限位空间对应的送料机构,每个所述送料机构的传输方向与传输装置的传输方向平行;当所述限位空间的开口水平朝向送料机构时,所述送料机构沿水平方向传输硅片,所述传输装置在所述送料机构送料过程中始终处于传输状态,所述送料机构能在对应的限位空间移动过程中将所述硅片插入对应的限位空间内,或将对应的所述限位空间内的硅片取出。

全文数据:

权利要求:

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