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申请/专利权人：晟耀光电科技股份有限公司
摘要：本发明是一种移载检测分类机台，包括一第一置料平台、一检测装置、一汲取装置、一第二置料平台及一机械臂装置，第一置料平台具有一晶圆检测区及一间隔材置放区，检测装置是供检测放置在晶圆检测区的晶圆，汲取装置是供汲取及移载所述晶圆，以及供汲取放置一间隔材，机械臂装置是往返一第一置料平台及第二置料平台，以供晶圆在晶圆检测区及晶舟之间移载。
主权项：1.一种移载检测分类机台，是供检测多个晶圆并分类，且检测的所述晶圆是呈堆栈且之间分别放置有一间隔材，以及由至少一晶舟供放置所述晶圆，其特征在于，所述移载检测分类机台包括：一第一置料平台，具有一晶圆检测区及一间隔材置放区，所述晶圆检测区是供所述晶圆呈堆栈放置，所述间隔材置放区是供放置所述间隔材；一检测装置，是对应所述晶圆检测区设置，并供检测放置在所述晶圆检测区的所述晶圆；一汲取装置，是对应所述第一置料平台设置，并供汲取及移载所述晶圆，以及供汲取放置所述间隔材；一第二置料平台，具有一晶圆置放区，是供所述晶舟设置；及一机械臂装置，对应所述第一置料平台及所述第二置料平台设置，并供往返所述一第一置料平台及所述第二置料平台，以供所述晶圆在晶圆检测区及所述晶舟之间移载。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 晟耀光电科技股份有限公司 移载检测分类机台
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