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一种用于电镀设备的电镀溶液在线取样检测装置 

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申请/专利权人:威海钰德环保科技有限公司

摘要:本发明涉及电镀溶液检测领域,尤其涉及一种用于电镀设备的电镀溶液在线取样检测装置,包括检测箱,检测箱一侧固定设置有检测仪,检测仪端面上设置有滴液检测盘,检测箱一侧设置有移动单元,移动单元与安装支架相连接并驱动安装支架进行横移及升降,安装支架上固定设置有取样件,检测箱内部固定设置有取样池,取样池两侧设置有振荡组件,检测箱上方设置有振荡支架。本发明的取样探杆采用浮动式结构,其质量变化会同步使得定位销上的感应块发生上下位移变化,利用取样探杆分别实现了对电镀溶液的取样以及沉积速率在线检测过程,有利于提高检测效率。

主权项:1.一种用于电镀设备的电镀溶液在线取样检测装置,包括检测箱(1),所述检测箱(1)一侧固定设置有检测仪(2),所述检测仪(2)端面上设置有滴液检测盘(3),其特征在于,所述检测箱(1)一侧设置有移动单元(4),所述移动单元(4)与安装支架(5)相连接并驱动安装支架(5)进行横移及升降,所述安装支架(5)上固定设置有取样件(6),所述检测箱(1)内部固定设置有取样池(10),所述取样池(10)两侧设置有振荡组件(7),所述检测箱(1)上方设置有振荡支架(8),所述振荡组件(7)与振荡支架(8)相连接,所述振荡支架(8)上设置有过滤器(9),所述过滤器(9)底部伸入到取样池(10)中,所述取样件(6)在过滤器(9)与滴液检测盘(3)之间移动以转移电镀溶液;所述取样件(6)包括顶盖(610)、固定筒(620)、控制杆(630)以及取样探杆(640),所述顶盖(610)装配设置于固定筒(620)上端,所述固定筒(620)固定设置在安装支架(5)上,所述取样探杆(640)同轴滑动贯穿设置于固定筒(620)内,所述控制杆(630)滑动设置于顶盖(610)内,所述控制杆(630)底部轴向伸入到取样探杆(640)中,所述取样探杆(640)内部设置有活塞腔(641),所述活塞腔(641)底部贯穿设置有取样腔道(642),所述控制杆(630)底端固定设置有滑动活塞(631),所述滑动活塞(631)适配滑动安装于活塞腔(641)内,所述取样探杆(640)顶端设置有挡板(643),所述挡板(643)上端设置有定位销(645),所述定位销(645)上端固定设置有感应块(646),所述顶盖(610)内部设置有与定位销(645)相对应的定位孔(611),所述定位孔(611)顶端固定设置有光电传感器(612),所述光电传感器(612)正对着感应块(646)。

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