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申请/专利权人：洛阳晶联光电材料有限责任公司
摘要：本发明涉及加热炉技术领域，尤其涉及一种用于靶材绑定的加热炉及靶材绑定工艺，该一种用于靶材绑定的加热炉包括上炉体、下炉体、设于上炉体和下炉体之间的至少一个中间炉体，下炉体内开设有滑入槽，滑入槽与固定螺杆适配以使固定螺杆沿滑入槽滑入圆槽内；下炉体的下方设有底座，底座上转动装配有支撑块，支撑块上开设有与滑入槽一一对应的支撑槽，至少一个支撑槽的侧壁上开设有滑动槽，滑动槽内滑动装配有用于对固定螺杆挡止限位的滑动件。本发明的一种用于靶材绑定的加热炉在使用时，结构简单，操作方便，只需通过翻转、推动即可将背管和靶材推入加热炉内，并且方便对准，方便安装固定。
主权项：1.一种用于靶材绑定的加热炉，包括上炉体、下炉体、设于上炉体和下炉体之间的至少一个中间炉体，其特征在于，所述下炉体内开设有与靶材外侧的固定螺杆适配的圆槽和与圆槽连通且沿下炉体后侧贯穿的滑入槽，滑入槽与固定螺杆适配以使固定螺杆沿滑入槽滑入圆槽内；下炉体的下方设有底座，底座上转动装配有支撑块，支撑块上开设有与滑入槽一一对应的支撑槽，至少一个支撑槽的侧壁上开设有滑动槽，滑动槽内滑动装配有用于对固定螺杆挡止限位的滑动件；所述支撑块在其翻转行程中具有竖直位置和水平位置，支撑块处于竖直位置时，支撑槽开口朝上，且滑动件将固定螺杆挡止配合在滑动件下方；支撑块处于水平位置时，支撑槽开口朝前，固定螺杆能够将滑动件顶入滑动槽内，以使各个固定螺杆能沿支撑槽滑入滑入槽并滑至圆槽内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 洛阳晶联光电材料有限责任公司 一种用于靶材绑定的加热炉及靶材绑定工艺
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