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申请/专利权人：深圳众诚达应用材料股份有限公司
摘要：本申请涉及靶材制备技术领域，提供了一种氮氧化钼旋转靶材及其制备方法和太阳能电池，包括：将纳米MoO2浆料和微米MoO2粉、MoN粉、Mo粉混合后进行等静压成型，然后破碎、过筛得到混合粉；将混合粉进行煅烧处理得到煅烧粉；将煅烧粉、粘结剂、分散剂和水进行球磨混合得到混合浆料；将混合浆料进行喷雾造粒得到造粒粉；将造粒粉进行脱脂处理，然后过筛得到喷涂粉；将喷涂粉喷涂到背管上，然后机加工得到氮氧化钼旋转靶材。本申请提供的氮氧化钼旋转靶材的制备方法，由于纳米MoO2粉和微米MoO2粉、MoN粉、Mo粉是经过成型、破碎、煅烧后再造粒、喷涂，因此制得的靶材成分更加趋近于原料配比，组织均匀性更好，致密度更高。
主权项：1.一种氮氧化钼旋转靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将纳米MoO2粉配制成纳米MoO2浆料；将所述纳米MoO2浆料和微米MoO2粉、MoN粉、Mo粉进行混合处理，得到混合料；将所述混合料进行等静压成型，然后破碎、过筛，得到混合粉；将所述混合粉进行煅烧处理，得到煅烧粉；将所述煅烧粉、粘结剂、分散剂和水进行球磨混合，得到混合浆料；将所述混合浆料进行喷雾造粒，得到造粒粉；将所述造粒粉进行脱脂处理，然后过筛得到喷涂粉；利用等离子喷涂设备将所述喷涂粉喷涂到背管上，然后机加工得到氮氧化钼旋转靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳众诚达应用材料股份有限公司 一种氮氧化钼旋转靶材及其制备方法和太阳能电池
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