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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：所描述的系统包括检查系统和相关联的软件。所述检查系统包括被配置成被插入至光刻设备中、由所述光刻设备的工具输送装置接合，并且用于检查所述光刻设备的一部分的本体。相机被联接至所述本体，并且被配置成当所述本体由所述工具输送装置定位时获得所述光刻设备的所述部分的图像。所述软件被配置成接收所述图像并且基于所述一个或更多个图像来促成对所述光刻设备的所述部分的半自动或自动检查。相较于先前方法，所描述的系统需要少得多的时间用于检查，产生一致成像分辨率和清晰度，不需要所述光刻设备的敞开或其它拆卸，减少对光刻设备微环境的影响和污染的可能性，并且具有其它优点。
主权项：1.一种用于检查光刻设备的一部分的系统，所述系统包括：本体，所述本体被配置成被插入至所述光刻设备中，由所述光刻设备的工具输送装置接合，并且由所述工具输送装置定位以用于检查所述光刻设备的所述部分；和一个或更多个图像捕获装置，所述一个或更多个图像捕获装置被联接至所述本体，所述一个或更多个图像捕获装置被配置成响应于所述工具输送装置定位所述本体来获得所述光刻设备的所述部分的一个或更多个图像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 用于检查光刻设备的部分的系统和方法
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