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申请/专利权人：安徽芯动联科微系统股份有限公司

摘要：本申请提供一种微机电系统三轴加速度传感器芯片和制作方法，其中芯片包括：第一轴加速度传感器单元，用于感应第一轴方向的加速度；第二轴加速度传感器单元感应，用于第二轴方向的加速度；和第三轴加速度传感器单元，用于感应第三轴方向的加速度；第一轴加速度传感器单元和第二轴加速度传感器单元层叠布置；第三轴加速度传感器单元包括第四加速度传感器子单元和第五加速度传感器子单元，第四加速度传感器子单元设置于第一轴加速度传感器单元的一侧，第五加速度传感器子单元设置于第二轴加速度传感器单元的一侧，第四加速度传感器子单元与第五加速度传感器子单元为不对称结构。第一、第二和第三轴加速度传感器单元密封在同一个密封腔内。

主权项：1.一种微机电系统三轴加速度传感器芯片，其特征在于，所述芯片包括：第一轴加速度传感器单元，用于感应第一轴方向的加速度；所述第一轴加速度传感器单元包括第一轴质量块、第一可动电极、第二可动电极、第一固定电极和第二固定电极；所述第一轴质量块为框架结构，在所述框架结构的内部设置有第一可动电极，所述第一可动电极与所述第一固定电极对应，两者之间存在间隙；在所述第一轴质量块的内部设置有第二可动电极；所述第二可动电极与所述第二固定电极对应，两者之间存在间隙；在所述第一轴质量块带动第一可动电极和第二可动电极沿第一轴方向运动时，所述第一固定电极和第二固定电极固定；第二轴加速度传感器单元，用于感应第二轴方向的加速度；所述第一轴方向和第二轴方向相互垂直；所述第二轴加速度传感器单元包括第二轴质量块，所述第二轴质量块为框架结构，在所述框架结构的内部设置有第三可动电极，所述第三可动电极与第三固定电极对应，两者之间存在间隙；在所述第二轴质量块的内部设置有第四可动电极；所述第四可动电极与第四固定电极对应，两者之间存在间隙；在所述第二轴质量块带动所述第三可动电极和第四可动电极沿第二轴方向运动时，所述第三固定电极和所述第四固定电极固定；和第三轴加速度传感器单元，用于感应第三轴方向的加速度；所述第三轴方向垂直于所述第一轴方向和第二轴方向；其中，所述第一轴加速度传感器单元和第二轴加速度传感器单元层叠布置；所述第三轴加速度传感器单元包括层叠布置的第四加速度传感器子单元和第五加速度传感器子单元，所述第四加速度传感器子单元设置于所述第一轴加速度传感器单元的一侧，所述第五加速度传感器子单元设置于所述第二轴加速度传感器单元的一侧，所述第四加速度传感器子单元与第五加速度传感器子单元为不对称结构；所述第四加速度传感器子单元与第五加速度传感器子单元的不对称结构为：所述第四加速度传感器子单元包括第三质量块、第四质量块、第五质量块和扭转梁；所述第三质量块与所述第四质量块相连；所述第三质量块与所述第四质量块之间构成中空结构，所述扭转梁设置于所述中空结构之间；所述第四质量块与所述第五质量块中间相连；所述第五加速度传感器子单元包括第六质量块、第五电极和第六电极；所述第六质量块与第五电极之间隔离，所述第五电极与第六电极之间隔离；所述第五电极与所述第三质量块上下对应，两者之间有间隙隔离；所述第六电极与所述第四质量块上下对应，两者之间有间隙隔离；所述第五质量块与所述第六质量块上下对应，通过氧化层连接；所述第五电极和第六电极通过锚点固定在底板上，与底板之间存在空隙；所述第一轴加速度传感器单元、第二轴加速度传感器单元和第三轴加速度传感器单元密封在同一个密封腔内。

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