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剥离机构及使用该剥离机构的层叠装置 

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申请/专利权人:日机装株式会社

摘要:本发明涉及一种剥离机构及使用该剥离机构的层叠装置,其借着容易地形成剥离起点部,而能够平顺地进行剥离动作而不会对薄片造成损伤。剥离机构100具备:剥离载台20;剥离头10;及冷却装置11,将具薄膜的薄片Sf的外周部的一部分冷却,形成剥离起点部Ra;剥离头10包含薄膜保持装置12、14,该薄膜保持装置12、14以保持着剥离起点部Ra的薄膜f的状态,通过剥离头10及剥离载台20的相对移动,从薄片S剥离薄膜f。据此,借着容易地形成剥离起点部,能够平顺地进行剥离动作而不会对薄片造成损伤。

主权项:1.一种剥离机构,具备:剥离载台,以固定状态载置具有大致矩形形状的具有薄膜的薄片;剥离头,从载置在前述剥离载台的前述薄片剥离前述薄膜;及冷却装置,将前述具有薄膜的薄片的外周部的一个角部冷却,形成剥离起点部;前述剥离头包含薄膜保持装置,该薄膜保持装置以保持着前述剥离起点部的前述薄膜的状态,通过前述剥离头及前述剥离载台的相对移动,从前述剥离起点部朝向具有薄膜的薄片的中心位置从前述薄片剥离前述薄膜。

全文数据:

权利要求:

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