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一种双通道检测的生化传感器 

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申请/专利权人:清华大学

摘要:本发明涉及一种基于二维材料量子电容‑电导双通道检测的分析型生化传感器:包括衬底和溶液;所述衬底上设有二维材料层;所述二维材料层两端设有源、漏电极,构成二维材料面内电导检测传感通道;所述溶液中设有液栅电极,其与二维材料层构成面外的量子电容检测传感通道。本发明的传感器将二维材料优异的电导性能与其量子电容特性耦合,构建出能解耦二维材料电导并分析二维材料载流子浓度及迁移率变化的生物化学检测器件,无需搭载霍尔分析所必须的永磁体,可与半导体工艺及便携式现场检测需求兼容,为其应用于便携式离子检测等提供了可行性。

主权项:1.一种基于量子电容-电导双通道检测的分析型二维材料生化传感器,其特征在于,所述分析型二维材料生化传感器包含二维材料量子电容检测和电导检测两个传感通道;所述分析型二维材料生化传感器包括衬底和溶液;所述衬底上设有二维材料层;所述二维材料层两端设有源、漏电极,构成二维材料面内电导检测传感通道;所述溶液中设有液栅电极,其与二维材料层构成面外的量子电容检测传感通道;源漏极电极材料选自金、铂金、银、铜、或铝;所述液栅电极选自AgAgCl、HgHg2SO4、可逆氢电极;所述二维材料选自石墨烯、还原氧化石墨烯、二硫化钼或氮化硼;所述二维材料通过湿法或干法转移到衬底上,或直接采用CVD法生长在绝缘的蓝宝石或覆盖有绝缘SiO2层的硅晶圆衬底上;所述溶液为pH值为6.5-7.5的磷酸盐缓冲液;所述溶液滴加于设有二维材料层的衬底上或者将设有二维材料层的衬底置于溶液中。

全文数据:

权利要求:

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