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离轴反射系统用一贯式装调误差双通道检测装置及方法 

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申请/专利权人:江淮前沿技术协同创新中心;复旦大学

摘要:本发明公开了离轴反射系统用一贯式装调误差双通道检测装置及方法,属于精密装调技术领域。本发明利用对焦探测和偏折测量两个通道进行离轴反射系统的装调误差检测,对焦探测通道通过聚焦在光阑上光斑的强度和横向偏摆确定镜片的平移和倾斜;偏折测量通道通过标准离轴抛物镜将汇聚于离轴反射系统像面的球面波准直为平面波,并通过偏折测量组件进行包含波像差和调制传递函数的像质检测。本发明依靠双通道复合信号对光学系统进行装调,在失调量较大的粗调和最终的精调阶段都可以使用,且基于完备的像质评价指标,能够保证装调结果更为可靠。

主权项:1.一种离轴反射系统用一贯式装调误差双通道检测装置,所述离轴反射系统包括主镜、次镜和三镜,其特征在于:所述装置包括对焦探测组件、偏折测量组件、运动控制机构和计算机;所述对焦探测组件包括准直激光和针孔相机,所述准直激光布设于所述离轴反射系统的0°像方视场,所述针孔相机的光阑位于所述离轴反射系统的0°物方焦面;所述准直激光发出的激光束经过所述离轴反射系统后汇聚为球面波,并在所述针孔相机的靶面上形成光斑,所述光斑的强度和位置分别用于表征离轴反射系统中的所有镜片的平移和倾斜情况;所述偏折测量组件包括数码光处理投影仪、散射屏、标准离轴抛物镜和双远心相机,所述数码光处理投影仪与所述散射屏组成屏幕且所述屏幕位于所述离轴反射系统的像方视场,所述标准离轴抛物镜的焦点位于所述离轴反射系统的像面上,所述双远心相机与所述标准离轴抛物镜的相对位姿固定,且所述双远心相机用于接收所述标准离轴抛物镜反射的准直平面波;所述屏幕用于显示不同空间频率下的输入条纹图案,所述输入条纹图案先经所述离轴反射系统汇聚为球面波,再经所述标准离轴抛物镜准直为平面波,最终由所述双远心相机获取到采集条纹图案;所述运动控制机构用于在计算机的控制下带动所述偏折测量组件沿所述双远心相机的光轴方向移动,以便于调整所检测的视场;所述计算机与所述针孔相机、所述屏幕、所述双远心相机以及所述运动控制机构电性连接;所述计算机用于根据所述光斑的强度和位置以及不同视场、不同空间频率下的输入条纹图案和采集条纹图案来检测所述离轴反射系统的装调误差。

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权利要求:

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