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申请/专利权人：山东云海国创云计算装备产业创新中心有限公司
摘要：一种半透明钙钛矿太阳电池及其制备方法，属于钙钛矿太阳电池领域，克服现有技术中采用氧化镍制备空穴传输层时易导致钙钛矿吸光层材料损伤，降低半透明钙钛矿太阳电池性能的缺陷。本发明半透明钙钛矿太阳电池的制备方法包括以下步骤：在衬底上依次制备第一透明电极、电子传输层、钙钛矿吸光层、空穴传输层和第二透明电极；采用反应等离子体沉积工艺制备所述空穴传输层：靶材成分包括氧化镍陶瓷，溅射气体为Ar，反应气体为O2，Ar流量为80~150sccm，O2流量为3~30sccm，沉积气压为0.3~0.4Pa，沉积温度为25~120℃。本发明氧化镍薄膜沉积过程不会损伤钙钛矿吸光层。
主权项：1.一种半透明钙钛矿太阳电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：在衬底上依次制备第一透明电极、电子传输层、钙钛矿吸光层、空穴传输层和第二透明电极；采用反应等离子体沉积工艺制备所述空穴传输层：靶材成分包括氧化镍陶瓷，溅射气体为Ar，反应气体为O2，Ar流量为80~150sccm，O2流量为3~30sccm，沉积气压为0.3~0.4Pa，沉积温度为25~120℃；所述靶材为锂镁铅共掺杂氧化镍陶瓷，所述靶材中的MgO的含量为0.5-4.0wt％，Li2O的含量为0.1-2.0wt％，PbO的含量为0.1-1.5wt％，余量为氧化镍；所述衬底为透明衬底，所述透明衬底为聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯或玻璃。
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百度查询： 山东云海国创云计算装备产业创新中心有限公司 一种半透明钙钛矿太阳电池及其制备方法
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