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真空中机械手臂防甩油装置 

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申请/专利权人:三和技研股份有限公司

摘要:本实用新型主要揭示一种真空中机械手臂防甩油装置,其主要特征在于一迷宫密封构造的设计,该迷宫密封构造利用流体黏滞系数特性、一般加工能力和组装公差以设计迷宫密封构造宽度,以确保在真空环境中防止机械手臂甩油而污染真空的工作环境。此外,这种装置的设计不需要昂贵的制程,并且可以应用于各种真空应用中。

主权项:1.一种真空中机械手臂防甩油装置,其特征在于,包括:一相对固定端,其配置有多个凸环;以及一相对旋转端,其配置有多个凹环;其中该相对固定端和该相对旋转端之间的所述凸环和所述凹环配合形成一迷宫密封构造,并且该迷宫密封构造具有一宽度。

全文数据:

权利要求:

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