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申请/专利权人：河北光兴半导体技术有限公司;北京盛达众安科技有限公司
摘要：本申请公开了一种芯片加液防飞溅装置，涉及芯片生产的技术领域，其中，装置包括：酸碱收集箱、输液管和氮气稳压装置，所述酸碱收集箱的顶部设置有入口，所述酸碱收集箱底部设置有出液口，所述出液口与芯片加液区域位置对应；所述输液管设置于所述酸碱收集箱内，所述输液管的第一端自所述入口伸出并连接溶液的加液口，所述输液管的第二端的端口设置有弹簧阀；所述氮气稳压装置与所述酸碱收集箱连通。本申请将输液管设置在酸碱收集箱内，并将酸碱收集箱和氮气稳压装置连通，从而保持酸碱收集箱内的压力稳定性，从而使溶液可以从酸碱收集箱的出液口平稳流出至芯片加液区域，避免溶液飞溅，保护工作人员的人身安全和设备的稳定性。
主权项：1.一种芯片加液防飞溅装置，其特征在于，包括：酸碱收集箱1，所述酸碱收集箱1的顶部设置有入口3，所述酸碱收集箱1底部设置有出液口8，所述出液口8与芯片加液区域位置对应；输液管5，所述输液管5设置于所述酸碱收集箱1内，所述输液管5的第一端自所述酸碱收集箱1的入口3伸出并连接溶液的加液口，所述输液管5的第二端的端口设置有弹簧阀7；氮气稳压装置6，所述氮气稳压装置6与所述酸碱收集箱1连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河北光兴半导体技术有限公司 北京盛达众安科技有限公司 芯片加液防飞溅装置
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