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翻面装置 

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申请/专利权人:深圳市大族半导体装备科技有限公司

摘要:本申请提供了一种翻面装置,包括机架;第一升降机构;第二升降机构,第二升降机构与第一升降机构沿第一方向间隔设置于机架上;以及,翻面机构,翻面机构的一端设置于第一升降机构上,翻面机构的另一端设置于第二升降机构上,第一升降机构与第二升降机构同步带动翻面机构升降以抓取工件;翻面机构能够相对第一升降机构与第二升降机构旋转以对抓取的工件进行翻面,翻面机构的旋转中心轴线与第一方向平行,第一方向与升降方向呈角度设置。本申请提供的翻面装置,使得翻面机构的两端同步升降,提高翻面机构在升降过程中的稳定性,避免发生晃动。

主权项:1.一种翻面装置,其特征在于,包括:机架;第一升降机构;第二升降机构,所述第二升降机构与所述第一升降机构沿第一方向间隔设置于所述机架上;以及,翻面机构,所述翻面机构的一端设置于所述第一升降机构上,所述翻面机构的另一端设置于所述第二升降机构上,所述第一升降机构与所述第二升降机构同步带动所述翻面机构升降以抓取工件;所述翻面机构能够相对所述第一升降机构与所述第二升降机构旋转以对抓取的工件进行翻面,所述翻面机构的旋转中心轴线与所述第一方向平行,所述第一方向与所述翻面机构的升降方向呈角度设置。

全文数据:

权利要求:

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