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申请/专利权人：上海谦视智能科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶圆内部和外部瑕疵检测区分装置，包括平行光源组件、晶圆支架、垂直光源组件以及检测组件，所述晶圆置于所述晶圆支架上，所述平行光源组件设于所述晶圆支架的侧方，所述检测组件设于所述晶圆的中轴线上，所述平行光源组件产生的光线包括上平行光和下平行光，所述上平行光掠过所述晶圆的上表面，所述下平行光掠过所述晶圆的下表面。本实用新型相较于现有技术具有更高的检测精度、更高的检测效率以及更低的成本，能够有效提高晶圆制造过程中的质量控制水平。
主权项：1.一种晶圆内部和外部瑕疵检测区分装置，其特征在于：包括平行光源组件、晶圆支架、垂直光源组件以及检测组件，所述晶圆置于所述晶圆支架上，所述平行光源组件设于所述晶圆支架的侧方，所述检测组件设于所述晶圆的中轴线上，所述平行光源组件产生的光线包括上平行光和下平行光，所述上平行光掠过所述晶圆的上表面，所述下平行光掠过所述晶圆的下表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海谦视智能科技有限公司 一种晶圆内部和外部瑕疵检测区分装置
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