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申请/专利权人：深圳市瑞世兴科技有限公司
摘要：三氯化铁蚀刻废液循环再生方法，涉及一种废液处理工艺，本发明通过添加氧化剂将二价铁离子氧化为三价铁离子，然后通过减压蒸馏的方法将废液中的盐酸收集后再利用，因为各金属离子的氢氧化物完全沉淀时pH差异，利用pH差异将各金属离子分步完全沉淀，将三氯化铁酸性蚀刻废液中的大量金属离子沉淀，其中沉淀出的锰镍离子可以实现金属资源化利用，最后通过减压蒸馏收集的盐酸调节处理后废水的pH以溶解沉淀出的氢氧化铁，实现三氯化铁酸性蚀刻废液的循环再生及资源化利用。
主权项：1.一种三氯化铁蚀刻废液循环再生方法，其特征在于，所述的循环再生方法包括如下步骤：1、废液各基本参数测定：先测定废液中各金属离子的含量和pH值；2、氧化：按化学计量数比例的1~1.05倍加入氧化剂，将Fe2+氧化为Fe3+；3、减压蒸馏：65-75℃，0.05-0.1MPa的条件下蒸馏1小时，利用减压蒸馏的方法将废液中的盐酸蒸除，余下三氯化铁和锰、镍离子混合物；4、沉淀过滤：首先等化学计量数比例添加沉淀剂1，用于和三价铁离子反应生成沉淀，先调节pH值为3.2以上保证铁离子除尽，然后调节pH值至1.9~3.2，过滤出铁离子沉淀物，滤液含金属锰离子和镍离子；继续调节滤液pH值至7.2~10.1，等化学计量数比例添加沉淀剂2至滤液，用于和锰离子及镍离子反应生成沉淀物，然后过滤出金属锰离子及镍离子沉淀物；去除沉淀物后得到过滤废液；5、循环再生：向步骤（4）过滤出的铁离子沉淀物中加入步骤（3）蒸馏出的盐酸和步骤（4）中的过滤废液；调节体系pH值到适合使用的pH值，即得到循环再生后的三氯化铁酸性蚀刻液。
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