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申请/专利权人：陕西阔维智动机器人科技有限公司
摘要：本申请涉及嵌入式传感器制造技术领域，具体而言，涉及刚性基底表面嵌入式柔性压力传感器和其制造工艺及装置，一定程度上可以解决传统传感器体积大且采用分立器件而难以接近待测点、测试环境恶劣的问题。传感器包括硬质基底、传感材料层、导电层和保护层，传感材料层和导电层依次嵌入至硬质基底上的槽中，最后由保护层将整个传感器包裹起来。其中硬质基底上的凹槽由激光打标机和精密激光刻出；传感材料层是喷涂至硬质基底凹槽内的材料溶液蒸发沉积或者反应固化生长所形成；导电层的制作是由喷涂溶液化的导电溶液，通过溶液挥发等方法固化形成，借助掩模版形成特定图案导电涂层及引线部分；保护层使用三氧化二铬材料喷涂在最上层并进行绝缘处理。
主权项：1.一种刚性基底表面嵌入式柔性压力传感器，其特征在于，包括硬质基底、传感材料层、导电层及保护层；所述硬质基底表面设置有一特定形状的凹槽，其凹槽形状为所需传感器图案，所述所需传感器图案根据传感器特性进行设计，包括弓字形及十字架形。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 陕西阔维智动机器人科技有限公司 刚性基底表面嵌入式柔性压力传感器和其制造工艺及装置
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