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申请/专利权人：上海大学
摘要：本发明提供了一种双膜结构全石英光纤声压传感器及其制作方法，该双膜结构原理为法布里珀罗干涉，传感器结构由单模光纤、柚子型光纤构成，通过柚子型光纤和单模光纤进行放电熔接形成单模‑柚子‑单模结构的法布里珀罗干涉仪，通过研磨机对一端单模光纤进行研磨，使形成厚度在微米量级的平整圆膜片，后通过飞秒激光减材加工工艺制备波纹膜片，并在柚子型光纤上微加工出微孔阵列结构，使氢氟酸溶液可以进入到柚子型光纤内部进行选择性腐蚀，最后形成悬空的纤芯，作为波导膜片。
主权项：1.一种基于法布里珀罗原理的双膜结构全石英光纤声压传感器，其特征在于，包括第一单模光纤、柚子型光纤和第二单模光纤依次熔接而成，其中，所述第一单模光纤与柚子型光纤的熔接面作为法布里珀罗干涉仪的第一反射面；所述柚子型光纤内部经氢氟酸溶液入侵腐蚀，呈悬空的纤芯，即波导膜片；所述第二单模光纤呈平整圆膜状作为波纹膜片，与所述柚子型光纤的熔接面为光滑平面作为法布里珀罗干涉仪的第二反射面，另一面设有微结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海大学 一种双膜结构全石英光纤声压传感器及其制作方法
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