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申请/专利权人：国鲸合创(青岛)科技有限公司;国鲸科技(广东横琴粤澳深度合作区)有限公司
摘要：本发明提供一种生长柔性发光显示材料中绝缘层的设备，包括：真空反应室、生长基板、绝缘加热器、原料瓶和抽气口；原料瓶用于向真空反应室内输入氧化性原料，氧化性原料质用于在真空反应室内的生长基板上形成一个原子层的氧化性物质；清洗原料用于对氧化性原料进行冲洗并经抽气口排出；真空反应室内的氧化性原料排出后，原料瓶用于向真空反应室内输入还原性原料，在生长基板上的氧化性物质上形成一个原子层的还原性物质；原料瓶还用于向真空反应室内输入清洗原料，对还原性原料进行冲洗并经抽气口排出；在生长基板表面形成柔性发光显示材料中绝缘层，由于避免了氧化性原料和还原性原料直接接触进行寄生反应，更好地保证最终生成绝缘层的均匀性。
主权项：1.一种生长柔性发光显示材料中绝缘层的设备，其特征在于，包括：真空反应室、生长基板、绝缘加热器、原料瓶和抽气口；所述绝缘加热器和所述生长基板均设置于所述真空反应室内，所述生长基板设置于所述绝缘加热器表面，所述原料瓶与所述真空反应室相连通，所述抽气口设置于所述真空反应室上；所述绝缘加热器用于加热所述生长基板，所述生长基板用于生长绝缘层；所述原料瓶用于向所述真空反应室内输入氧化性原料，所述氧化性原料质用于在所述真空反应室内的所述生长基板上形成一个原子层的氧化性物质；形成一个原子层的氧化性物质后，所述原料瓶还用于向所述真空反应室内输入清洗原料，所述清洗原料用于对所述氧化性原料进行冲洗并经所述抽气口排出；所述真空反应室内的氧化性原料排出后，所述原料瓶用于向所述真空反应室内输入还原性原料，所述还原性原料用于在所述生长基板上的氧化性物质上形成一个原子层的还原性物质；形成一个原子层的还原性物质后，所述原料瓶还用于向所述真空反应室内输入清洗原料，所述清洗原料用于对所述还原性原料进行冲洗并经所述抽气口排出；重复生长所述氧化性物质和所述还原性物质，直至在所述生长基板表面形成柔性发光显示材料中绝缘层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 国鲸合创(青岛)科技有限公司 国鲸科技(广东横琴粤澳深度合作区)有限公司 生长柔性发光显示材料中绝缘层的设备
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