龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：河北大学
摘要：本申请公开了一种硅片质量监测分选系统及方法、一种硅锭质量评估方法，涉及硅片检测技术领域，先利用硅片切割装置从硅锭上切割出硅片；再利用硅片表面钝化装置对硅片表面进行钝化处理，在硅片表面形成钝化层，通过钝化层有效抑制硅片表面复合，继而便于硅片体寿命测量装置评估表面形成有钝化层的硅片的体寿命，实现硅片体寿命的准确测量，同时，在硅片表面形成钝化层，还可以降低硅片表面缺陷，提高硅片质量；进而，分选装置按照包括硅片不同等级的体寿命的分选标准对多个硅片进行分选，如此，硅片切割‑表面钝化‑体寿命测量‑分选构成一条流水线，能够测量从硅锭不同区域切割的硅片的体寿命，实现硅片质量的监测，自动化程度高，而且实用性高。
主权项：1.一种硅片质量监测分选系统，其特征在于，包括：硅片切割装置，用于从硅锭上切割出硅片；硅片表面钝化装置，用于对所述硅片表面进行钝化处理，在所述硅片表面形成钝化层；硅片体寿命测量装置，用于评估表面形成有所述钝化层的所述硅片的体寿命；分选装置，按照分选标准对多个所述硅片进行分选，所述分选标准包括所述硅片不同等级的体寿命。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河北大学 硅片质量监测分选系统及方法、硅锭质量评估方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号