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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：校准电子处理系统的对准器站的方法。通过传送腔室的第一机械臂从连接传送腔室的处理腔室取回校准物体。校准物体在处理腔室具有目标取向。通过第一机械臂将校准物体放置在连接传送腔室的装载锁定。通过连接装载锁定的工厂接口的第二机械臂从装载锁定取回校准物体。通过第二机械臂将校准物体放置在容纳在工厂接口或连接工厂接口的对准器站。校准物体在对准器站具有第一取向。确定对准器站的第一取向与对准器站的初始目标取向之间的差。对准器站的初始目标取向与处理腔室的目标取向相关联。基于第一取向与初始目标取向的差确定与处理腔室相关的第一特征误差值记录在存储介质中。对准器站使用第一特征误差值对准要放置在处理腔室的物体。
主权项：1.一种方法，包含以下步骤：在处理系统的对准器站处检测要根据目标处理腔室取向放置在所述处理系统的处理腔室中的物体，其中所述物体在所述对准器站处具有第一取向；确定与在所述对准器站和所述处理腔室之间的传送路径相关联的特征误差值；基于所确定的所述特征误差值，引起所述对准器站调整所述物体从所述第一取向到第二取向的对准；和引起所述处理系统的一个或多个机械臂将所述物体沿着所述传送路径从所述对准器站传送到所述处理腔室，其中所述物体在所述处理腔室处近似地具有所述目标处理腔室取向。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 处理系统对准器站的校准
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