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申请/专利权人：河北大学
摘要：本发明提供了一种硅基集成多通道星形交叉波导耦合器及其制备方法。本发明旨在实现高效的光路管理与信号传递，所提出的偏振无关星形交叉耦合器整合了锥形过渡波导、由孔阵列光栅构建的多模波导、弯曲亚波长光栅以及中央波导，该中央波导作为桥梁，连接所有上述组成部件。本发明结合了弯曲亚波长光栅和孔阵列光栅的双重优势。具体而言，弯曲亚波长光栅通过精细调节光传播路径的长度与相位，实现了光线聚焦。此外，孔阵列光栅使光线在由超短锥形过渡区域所引起的最小自成像位置汇聚。借助这一综合设计策略，所发明的交叉波导结构展现出增强的光聚焦能力，具备多通道传输、偏振不敏感性、封装尺寸小、低损耗、低串扰、制造难度低、工艺容差大等优点。
主权项：1.一种硅基集成多通道星形交叉波导耦合器，其特征是，包括硅基衬底，设置在硅基衬底上的掩埋氧化层，设置在掩埋氧化层上的硅波导层，以及覆盖所述掩埋氧化层并包裹所述硅波导层的上包层；所述掩埋氧化层和所述上包层均为SiO2材料；所述硅波导层包括位于中心的正多边形结构的中央波导，正多边形的边数为偶数；在所述中央波导的外围设有与正多边形结构的每一条边相接的多模波导，多模波导的另一端连接锥形过渡波导，且锥形过渡波导的宽端与多模波导相接；在多模波导上靠近两侧边沿处各设有一排均布的通孔，制备上包层时在所述通孔内形成SiO2材料，各通孔内的SiO2材料构成孔阵列光栅；在相邻两个多模波导之间的区域内设有连接相邻两个多模波导的等间距的弯曲亚波长光栅；弯曲亚波长光栅、多模波导、锥形过渡波导以及中央波导的材料均为Si。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河北大学 一种硅基集成多通道星形交叉波导耦合器及其制备方法
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