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申请/专利权人：天合光能股份有限公司;天合光能(青海)晶硅有限公司
摘要：本申请提供了一种单晶炉掺杂装置及单晶炉，包括加料室、真空储料室、下料斗和下料管道，其中的加料室设有加料口，真空储料室可以存储固态掺杂剂，下料斗的底部设有出料口，真空储料室与加料室、下料斗和下料管道均密封连接，下料管道输送固态掺杂剂，避免与外界环境接触，即使固态掺杂剂产生挥发气体也不会扩散到炉外环境中，保证生产过程的安全性；加料室与真空储料室之间设有隔离阀，隔离阀可以自动及连续的开启以实现多次加料，便于提升晶棒电阻均匀性以及固相掺杂的效率。
主权项：1.一种单晶炉掺杂装置，其特征在于，包括：加料室，设有加料口；真空储料室，与所述加料室之间设有隔离阀，用于存储固态掺杂剂；下料斗，位于所述真空储料室的下方，并与所述真空储料室的下端口之间密封连接，所述下料斗的底部设有出料口；下料管道，一端与所述出料口之间密封连接，用于输送所述固态掺杂剂。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天合光能股份有限公司 天合光能(青海)晶硅有限公司 单晶炉掺杂装置和单晶炉
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