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一种旋转接头、坩埚升降旋转机构及长晶炉 

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申请/专利权人:无锡松瓷机电有限公司

摘要:本申请公开了一种旋转接头、坩埚升降旋转机构及长晶炉,其中旋转接头包括固定本体、旋转本体、通孔、冷却通道、冷却入口和冷却出口,其中:固定本体具有容纳旋转本体的安装腔,旋转本体穿过安装腔设置在固定本体内,旋转本体可相对于固定本体旋转;通孔沿第一方向贯穿旋转本体,用于为坩埚底部的温度测量提供测量通道;冷却通道设置在固定本体和旋转本体内部,冷却通道的接入端与冷却入口连通,冷却通道的接出端与冷却出口连通,冷却介质通过冷却入口进入冷却通道,经冷却出口离开冷却通道;冷却入口和冷却出口设置在固定本体上。通过在旋转接头上设置通孔,使得红外光能够穿过该通孔,便于对坩埚底部的温度进行测量。

主权项:1.一种旋转接头,其特征在于,所述旋转接头包括固定本体、旋转本体、通孔、冷却通道、冷却入口和冷却出口,其中:所述固定本体具有容纳所述旋转本体的安装腔,所述旋转本体穿过所述安装腔设置在所述固定本体内,所述旋转本体可相对于所述固定本体旋转;所述通孔沿第一方向贯穿所述旋转本体,用于为坩埚底部的温度测量提供测量通道;所述冷却通道设置在所述固定本体和所述旋转本体内部,所述冷却通道的接入端与所述冷却入口连通,所述冷却通道的接出端与所述冷却出口连通,冷却介质通过所述冷却入口进入所述冷却通道,经所述冷却出口离开所述冷却通道;所述冷却入口和所述冷却出口设置在所述固定本体上。

全文数据:

权利要求:

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