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申请/专利权人：复旦大学
摘要：本发明涉及一种降低多束带电粒子束成像信号串扰的扫描成像方法，包括以下步骤：先将样品置于可移动的样品台上，采用多束带电粒子源进行扫描检测；当多束带电粒子源完成一帧扫描后，通过样品台移动切换扫描位置，进行下一帧的扫描成像，控制相邻两帧扫描成像区域部分交叠，选取特征形貌进行图像拼接，如此重复不断扫描并拼接成像，完成对整个样品的整体成像。与现有技术相比，本发明的降低多束带电粒子束成像信号串扰的方法能够增大带电粒子束在整个仪器设备光学系统中的传播间距，降低发生串扰的概率。
主权项：1.一种降低多束带电粒子束成像信号串扰的扫描成像方法，其特征在于，包括以下步骤：先将样品置于可移动的样品台上，采用多束带电粒子源进行扫描检测；当多束带电粒子源完成一帧扫描后，通过样品台移动切换扫描位置，进行下一帧的扫描成像，控制相邻两帧扫描成像区域部分交叠，选取特征形貌进行图像拼接，如此重复不断扫描并拼接成像，完成对整个样品的整体成像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 复旦大学 一种降低多束带电粒子束成像信号串扰的扫描成像方法
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