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申请/专利权人：中国原子能科学研究院

摘要：本发明公开了一种集成化多功能束流诊断和准直设备，包括布设在六孔真空盒内的同一个平面上的分别沿着径向串联排布的多组设备、该分别沿着径向串联排布的多组设备之间间隔一定角度；该六孔真空盒前后面中心孔处为束流通道；该分多组设备分别与真空盒外部的与多组设备间隔相同角度的法兰组件相连接、再通过各自的法兰组件与多组设备间隔相同角度的气缸相连接；所述与多组设备间隔相同角度的气缸共用一个配气柜、该配气柜连接控制系统，控制系统控制同一平面内的多个束流诊断和准直设备分时共用束流线上的同一个位置。本发明由改进前多个设备沿着束流线串行排布，改进为将多个设备在同平面径向排布和多角度排布，节省要素取得了同样的效果。

主权项：1.一种集成化多功能束流诊断和准直设备，其特征在于：包括布设在六孔真空盒内的同一个平面上的分别沿着径向串联排布的两组设备、该分别沿着径向串联排布的两组设备之间间隔90度；该六孔真空盒前后面中心孔处为束流通道；所述分别沿着径向串联排布的两组设备分别与真空盒外部的与两组设备间隔相同角度的法兰组件相连接、再通过各自的法兰组件与两组设备间隔相同角度的气缸相连接；所述与两组设备间隔相同角度的气缸共用一个配气柜、该配气柜连接控制系统，控制系统控制同一平面内的多个束流诊断和准直设备分时共用束流线上的同一个位置；在六孔真空盒前后面之间的同一个平面内布设有相互垂直的两组元器件，该两组元器件以该六孔真空盒前后面中心孔为目标点可上下或左右移动，分别为水平方向的元器件和垂直方向的元器件、且该两组元器件各一字形串联多个诊断元件；各一字形诊断元件的外端分别与真空盒外部的水平方向法兰组件或垂直方向法兰组件相连接、再通过各自的法兰组件与水平方向气缸或垂直方向气缸相连接；所述水平方向气缸和垂直方向气缸共用一个配气柜、该配气柜连接控制系统；所述垂直方向一字排列的元器件从上至下包括准直器和法拉第筒，该准直器的上端连接垂直方向的气缸、下端连接法拉第筒；所述水平方向一字排列的元器件从外到里包括丝扫描和荧光靶，该丝扫描左端连接水平方向的气缸，右端连接荧光靶；当使用水平方向的设备改为使用垂直方向的设备时，水平方向的设备完全拔出：控制系统向配气柜发指令，配气柜控制水平方向的气缸动作、水平方向的气缸带动水平方向设备完全拔出真空盒的束流中心；当使用垂直方向的设备改为使用水平方向的设备时，垂直方向的设备完全拔出：控制系统向配气柜发指令，配气柜控制垂直方向的气缸动作、垂直方向的气缸带动垂直方向设备完全拔出真空盒的束流中心。

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