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申请/专利权人：深圳市石金科技股份有限公司

摘要：本发明适用于硅片加工技术领域，提供了硅片插片花篮定位设备，包括顶板、立柱和底支座，还包括：限位组件，限位组件用于对硅片花篮的上部和下部进行限位；可调锁紧机构，可调锁紧机构安装于顶板上，可调锁紧机构用于和限位组件配合对硅片花篮的上端板中间的定位销进行锁紧固定；底固定机构，底固定机构安装于底支座上，底固定机构用于和限位组件配合对硅片花篮的下端板中部进行固定。本发明可对硅片花篮可靠快捷的定位固定，利于插入硅片时花篮的稳定，以及花篮的装载与卸除，提升作业的流畅度。

主权项：1.硅片插片花篮定位设备，包括顶板（7）、立柱（10）和底支座（12），所述顶板（7）和底支座（12）之间固定有立柱（10），其特征在于，还包括：限位组件，所述限位组件用于对硅片花篮（5）的上部和下部进行限位；可调锁紧机构（6），所述可调锁紧机构（6）安装于顶板（7）上，可调锁紧机构（6）用于和限位组件配合对硅片花篮（5）的上端板（3）中间的定位销（4）进行锁紧固定；所述可调锁紧机构（6）包括可调节移动安装在顶板（7）上的安装座（22），所述安装座（22）的一端转动连接有两根锁紧板（21），两根锁紧板（21）上跨设固定有用于对定位销（4）弹性卡位固定的卡固组件；两根所述锁紧板（21）远离安装座（22）的一端转动连接有推拉板（23），两根所述推拉板（23）远离锁紧板（21）的一端与三角板（25）的一角转动连接，所述三角板（25）的二角还与支架（24）转动连接，两根所述支架（24）的下端对应固定于安装座（22）的两侧；所述安装座（22）上还滑动设有移动座（29），安装座（22）上还固定有用于驱动移动座（29）移动的推拉组件；所述三角板（25）的三角开设有腰形孔（26），移动座（29）的两侧固定有与两个所述三角板（25）的腰形孔（26）相配合的传动柱（27）；底固定机构（14），所述底固定机构（14）安装于底支座（12）上，底固定机构（14）用于和限位组件配合对硅片花篮（5）的下端板（1）中部进行固定；其中，所述限位组件包括伸缩缸一（8）、限位块（9）、伸缩缸二（11）和限位板（13）；所述可调锁紧机构（6）的两侧于顶板（7）上分别固定有一个伸缩缸一（8），伸缩缸一（8）的输出端固定有用于对硅片花篮（5）的上端板（3）进行限位的限位块（9）；所述底支座（12）上还固定有伸缩缸二（11），伸缩缸二（11）的输出端固定有用于对硅片花篮（5）的下端板（1）中部进行限位的限位板（13）；所述限位块（9）采用倒L形结构，限位块（9）的竖直部下端还与顶板（7）顶部滑动连接；所述限位板（13）的下端还与底支座（12）顶部滑动连接；所述顶板（7）的顶部固定有导轨（28），安装座（22）与导轨（28）滑动连接，所述安装座（22）一侧的顶板（7）上固定有与导轨（28）平行的伸缩缸五（32），伸缩缸五（32）的输出端与安装座（22）固定连接；所述三角板（25）采用等边三角形结构；所述推拉组件包括固定板（30）和伸缩缸四（31），所述安装座（22）远离锁紧板（21）的一端固定有固定板（30），固定板（30）上固定有伸缩缸四（31），伸缩缸四（31）的输出端与移动座（29）连接固定；所述底固定机构（14）包括伸缩缸六（36）和弧形固定板（38）；所述底支座（12）内开设有空腔二（39），空腔二（39）内固定有伸缩缸六（36），伸缩缸六（36）的输出端固定有弧形固定板（38）；所述底支座（12）的顶部还开设有与空腔二（39）连通并用于弧形固定板（38）进出的伸缩口（37）；所述伸缩缸六（36）用于控制弧形固定板（38）端部抵接固定在下端板（1）远离立柱（10）的一侧中部，并对下端板（1）的中部侧面和顶部进行限位固定。

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