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申请/专利权人：矽品科技(苏州)有限公司
摘要：本实用新型提供了一种光阻显影机救货系统，包括光阻显影机，所述光阻显影机的腔室分别设置有显影液端、去离子水端、真空端及救货端，所述显影液端通过喷酸电磁阀与酸液联通，所述救货端通过救货电磁阀与救货水连接，所述救货电磁阀的出口端连接有与PLC信号端连接的救货水控制阀，所述真空端通过真空电磁阀与气体联通，所述真空电磁阀与真空端之间还连接有一压力计，所述压力计与PLC信号控制端连接。本实用新型的有益效果体现在：通过设置救货水通道，并结合显影运作系统中的通断控制，当出现宕机时，可以很好的避免显影液在晶圆上停留过长时间造成产品异常，提高最终的产品质量。
主权项：1.一种光阻显影机救货系统，其特征在于：包括光阻显影机，所述光阻显影机的腔室分别设置有显影液端、去离子水端、真空端及救货端，所述显影液端通过喷酸电磁阀与酸液联通，所述救货端通过救货电磁阀与救货水连接，所述救货电磁阀的出口端连接有与PLC信号端连接的救货水控制阀，所述真空端通过真空电磁阀与气体联通，所述真空电磁阀与真空端之间还连接有一压力计，所述压力计与PLC信号控制端连接。
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权利要求：
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