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申请/专利权人:深圳技术大学
摘要:本申请涉及一种柔性石墨烯霍尔传感器及其制备方法。柔性石墨烯霍尔传感器的制备方法,包括如下步骤:提供透明底片;在所述透明底片的一侧表面之上直接制备柔性基底;在所述柔性基底的表面之上制备含有石墨烯的霍尔元件;采用激光照射所述透明底片背向所述柔性基底的一侧,使所述透明底片与所述柔性基底分离。通过本申请提供的方法制备霍尔传感器,有利于提高传感器的灵敏度。
主权项:1.一种柔性石墨烯霍尔传感器的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:提供透明底片;在所述透明底片的一侧表面之上直接制备柔性基底;在所述柔性基底的表面之上制备含有石墨烯的霍尔元件;采用激光照射所述透明底片背向所述柔性基底的一侧,使所述透明底片与所述柔性基底分离。
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