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申请/专利权人：无锡翔域半导体有限公司
摘要：本实用新型公开了应用于离子注入机中靶室的加热装置，涉及离子注入机技术领域；而本实用新型包括靶室本体，靶室本体内壁的底部固定连接有加热平台，加热平台内壁的底部设置有S型加热管，加热平台的一侧开设有对称分布的通孔，S型加热管的两端均活动贯穿通孔且螺纹连接有螺母；通过离子束入口、S型加热管、铜丝网、隔热层和陶瓷片之间的配合，通过铜丝网对热量进行传导，使得热量均匀分布于铜丝网表面，进一步提高了加热的均匀性，从而靶室本体的内部进行加热，并通过设置隔热层，进一步提高保温性能，同时采用氮化硼薄片材质的陶瓷片，氮化硼的导热系数是随着温度的升高而变大，能够有效的将热量传导给样品。
主权项：1.应用于离子注入机中靶室的加热装置，包括靶室本体1，其特征在于：所述靶室本体1内壁的底部固定连接有加热平台2，所述加热平台2内壁的底部设置有S型加热管3，所述加热平台2的一侧开设有对称分布的通孔4，所述S型加热管3的两端均活动贯穿通孔4且螺纹连接有螺母5，所述加热平台2的内部且位于S型加热管3的上方固定连接有铜丝网6，所述加热平台2的顶端活动卡接有陶瓷片7，所述加热平台2内壁开设有U型槽，所述U型槽的内壁设置有隔热层8。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡翔域半导体有限公司 应用于离子注入机中靶室的加热装置
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