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一种真空镀膜机坩埚取出工具 

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申请/专利权人:成都兴南真科科技有限责任公司

摘要:一种真空镀膜机坩埚取出工具,包括架设单元和撑开提起单元。架设单元用于在取出坩埚时架设在坩埚盘的坩埚槽上端,包括竖直设置的滑动部,滑动部外侧设有手持机构。撑开提起单元可升降地设于滑动部一侧,包括滑杆,滑杆一端设有一对竖杆,两个竖杆外周侧分别套设有转杆,转杆一端设有第二握把,另一端设有第二L型杆,其竖边的下端向竖边一侧面延伸有用于接触坩埚内侧壁的顶块。该真空镀膜机坩埚取出工具可以方便地从坩埚内部向外撑开地固定坩埚,然后将其提起,便于坩埚取出和转移,且人员可以不用佩戴隔热手套。

主权项:1.一种真空镀膜机坩埚取出工具,其特征在于,包括:架设单元(1),用于在取出坩埚(4)时架设在坩埚盘(3)的坩埚槽(31)上端,包括竖直设置的滑动部(11),滑动部(11)外侧设有手持机构;撑开提起单元(2),可升降地设于滑动部(11)一侧,包括滑杆(21),滑杆(21)一端设有一对竖杆(23),两个竖杆(23)外周侧分别套设有转杆(24),转杆(24)一端设有第二握把(25),另一端设有第二L型杆(27),其竖边的下端向竖边一侧面延伸有用于接触坩埚(4)内侧壁的顶块(28)。

全文数据:

权利要求:

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