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一种硼预扩主扩炉 

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申请/专利权人:青岛育豪微电子设备有限公司

摘要:本实用新型公开了一种硼预扩主扩炉,包括机体,所述机体的一侧中部固定有设备箱,所述设备箱的一侧内壁上设有开关机构。本实用新型能够在硼预扩主扩炉上安装对操控台防护的结构,在操控台使用时将两个防护罩分开可以对操控台进行操控,在操控台设定完成程序后,将两个防护罩闭合对操控台进行防护,避免操控台被随意触碰,从而可以有效的解决因操控台被随意触碰而导致硼预扩主扩炉运作时程序混乱的情况发生,继而有效的保证了硼预扩主扩炉运作时的稳定性。

主权项:1.一种硼预扩主扩炉,包括机体1,其特征在于:所述机体1的一侧中部固定有设备箱3,所述设备箱3的一侧内壁上设有开关机构;所述机体1的一侧中部设置有操控台2,所述操控台2对应设置在设备箱3的上方,所述开关机构上设有正反牙螺纹杆7,所述正反牙螺纹杆7转动连接在设备箱3内的上部,所述正反牙螺纹杆7的两侧均螺纹套接有螺纹套管8,两个螺纹套管8的上端均固定有连接杆9,所述设备箱3的上端中部开设有长条口,两个连接杆9均滑动套接在长条口内,两个连接杆9的上端均固定有防护罩10,所述操控台2共同位于两个防护罩10内。

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权利要求:

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