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申请/专利权人：江苏晶利恒半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种碳化硅晶片抛光用固定装置，涉及碳化硅晶片技术领域，包括支撑底板，所述支撑底板的上表面一端设置有清理机构，所述清理机构包括收纳箱和储存袋，收纳箱的外表面一侧固定设置有伺服电机，伺服电机的输出轴一端与传动轴的一端固定连接，传动轴的另一端固定设置有扇叶，储存袋固定设置在连通管的一端，连通管的另一端固定设置有伸缩吸头。它能够通过伺服电机带动传动轴转动，传动轴带动扇叶转动，扇叶在旋转过程中在收纳箱内部形成负压，从而使伸缩吸头的一端产生较大的吸力，对抛光后的碳化硅晶片碎屑进行收集，避免碳化硅晶片碎屑堆积在装置内部影响装置的正常使用，提高固定装置的使用寿命。
主权项：1.一种碳化硅晶片抛光用固定装置，包括支撑底板1，其特征在于：所述支撑底板1的上表面一端设置有清理机构5，所述清理机构5包括收纳箱51和储存袋55，收纳箱51的外表面一侧固定设置有伺服电机52，伺服电机52的输出轴一端与传动轴53的一端固定连接，传动轴53的另一端固定设置有扇叶54，储存袋55固定设置在连通管56的一端，连通管56的另一端固定设置有伸缩吸头57。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏晶利恒半导体科技有限公司 一种碳化硅晶片抛光用固定装置
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