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申请/专利权人：北京华丞电子有限公司
摘要：本发明提供一种相位同步装置、射频电源和半导体工艺设备，相位同步装置包括衰减电路、移相电路、相位移动控制电路和比较电路，衰减电路用于减小接收的信号的幅值得到衰减信号；移相电路用于接收衰减信号并生成频率相同的中间信号，且能够基于控制信号调节中间信号的相位；相位移动控制电路用于输出控制信号，以使中间信号的相位与射频输入信号的相位一致；比较电路用于基于中间信号生成并输出幅值随所述中间信号的幅值符号变化而改变的射频输出信号。本发明通过开环电路实现射频输出信号与射频输入信号相位同步，能够高效、稳定地生成与射频输入信号相位同步的射频输出信号。
主权项：1.一种相位同步装置，其特征在于，包括衰减电路、移相电路、相位移动控制电路和比较电路，其中，所述衰减电路的输入端用于接收射频输入信号，所述衰减电路的输出端与所述移相电路连接，所述衰减电路用于减小所述衰减电路的输入端接收的信号的幅值，得到衰减信号，并将所述衰减信号由所述衰减电路的输出端输出；所述移相电路用于接收所述衰减信号以及所述相位移动控制电路发送的控制信号，并生成与所述衰减信号频率相同的中间信号，且所述移相电路能够基于所述控制信号调节所述中间信号的相位；所述相位移动控制电路用于向所述移相电路输出所述控制信号，以使所述中间信号的相位与所述射频输入信号一致；所述比较电路用于基于所述中间信号生成并输出幅值随所述中间信号的幅值符号变化而改变的射频输出信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京华丞电子有限公司 相位同步装置、射频电源和半导体工艺设备
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