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一种热源及其制备方法与快速热处理平台 

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申请/专利权人:南京大学

摘要:本发明公开了一种热源及其制备方法与快速热处理平台,热源为管状元件,热源由石墨和氮化硼烧结制得,石墨、氮化硼的质量比为5~11:9~15;热源的本征电阻在5~10000Ω·m内可调。快速热处理平台包括外腔体,外腔体内侧底部设置底座,底座上设置内腔体;内腔体与外腔体之间的夹层为水冷层,外腔体上设置进水口、出水口、电极馈通法兰、光纤馈通法兰,电极馈通法兰用于将电路由外部引入内腔体;内腔体通过内腔体隔板分隔成相同大小的腔室;内腔体与腔外环境通过平板法兰隔离,腔室共用平板法兰作为舱门,腔室内设置中通管状的热源。本发明处理效率高,平台在一次进样及扫气后可同时开展两轮独立热处理。

主权项:1.一种热源,其特征在于:为管状元件,所述热源10由石墨和氮化硼烧结制得,所述石墨、氮化硼的质量比为5~11:9~15;所述热源10的本征电阻在5~10000Ω·m内可调。

全文数据:

权利要求:

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